12月6日，截止午间收盘，半导体设备ETF（159516）涨1.73%，报1.118元，成交额1.20亿元。半导体设备ETF（159516）重仓股方面，中微公司截止午盘涨2.17%，北方华创涨2.01%，沪硅产业涨3.81%，华海清科涨1.21%，拓荆科技涨1.66%，南大光电涨1.50%，雅克科技涨1.07%，长川科技涨2.96%，芯源微涨0.78%，立昂微涨1.50%。
半导体设备ETF（159516）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为国泰基金管理有限公司，基金经理为艾小军，成立（2023-07-19）以来回报为9.93%，近一个月回报为-0.03%。
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