10月18日，截止午间收盘，半导体设备ETF（159516）涨2.12%，报0.962元，成交额1.17亿元。半导体设备ETF（159516）重仓股方面，北方华创截止午盘涨2.80%，中微公司涨0.80%，沪硅产业涨1.60%，华海清科涨4.46%，雅克科技涨3.49%，拓荆科技涨3.17%，南大光电涨3.30%，立昂微涨2.97%，鼎龙股份涨2.35%，TCL科技涨0.00%。
半导体设备ETF（159516）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为国泰基金管理有限公司，基金经理为艾小军，成立（2023-07-19）以来回报为-6.10%，近一个月回报为29.70%。
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