9月20日，截止午间收盘，半导体设备ETF（561980）跌2.13%，报0.827元，成交额1535.35万元。半导体设备ETF（561980）重仓股方面，北方华创截止午盘跌1.13%，中微公司跌4.27%，中芯国际跌0.21%，韦尔股份跌2.97%，海光信息跌1.07%，华海清科跌2.96%，拓荆科技跌4.17%，南大光电跌0.71%，沪硅产业涨0.66%，安集科技跌0.81%。
半导体设备ETF（561980）业绩比较基准为中证半导体产业指数收益率，管理人为招商基金管理有限公司，基金经理为苏燕青，成立（2023-08-21）以来回报为-15.89%，近一个月回报为-7.52%。
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