10月22日，截止午间收盘，芯片设备ETF（560780）跌0.53%，报1.122元，成交额644.14万元。芯片设备ETF（560780）重仓股方面，北方华创截止午盘涨1.32%，中微公司跌0.82%，沪硅产业涨0.74%，华海清科跌2.20%，雅克科技跌1.93%，拓荆科技跌2.52%，南大光电涨0.97%，立昂微涨1.22%，鼎龙股份跌0.39%，TCL科技涨1.67%。
芯片设备ETF（560780）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为广发基金管理有限公司，基金经理为夏浩洋，成立（2023-12-01）以来回报为12.94%，近一个月回报为46.13%。
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